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基于高场非对称波形离子迁移谱原理设计了一种由离子源,迁移区和检测器3部分组成的生化传感器。传感器采用真空紫外灯作离子源,高纯氮(99.999%)为载气,在常压下工作。加工了两种由两平行金属极板组成的迁移区,一种由两平板铜块组成,尺寸为25mm×10mm×1mm;另外一种由微机电(MEMS)工艺加工,尺寸为20mm×10mm×1.5mm。MEMS工艺加工的迁移区间距为1.5mm,电场强度〈10000V/cm,不能过滤丙酮离子;铜块迁移区间距为1mm,电场强度〉1000