新型CNT-FED栅极结构表面二次电子发射研究

来源 :应用科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Chanco

【摘要】

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提出了一种简单可行的CNT-FED栅极制备方法,即采用金属网板作为栅极,网板上下表面同样制备一定厚度的介质层,网板表面和内通道壁上蒸发MgO和MgF2薄膜,一次电子在电场作用下轰

【作者】

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王琦龙雷威张晓兵狄云松周雪东刘敏

【机构】

：

东南大学,南京师范大学

【出处】

：

应用科学学报

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

二次电子发射栅极结构表面 MgF2薄膜数值模拟计算电子发射过程发射电流密度背散射电子制备方法电场作用验证实验发光亮度网板介质层 MgO

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提出了一种简单可行的CNT-FED栅极制备方法,即采用金属网板作为栅极,网板上下表面同样制备一定厚度的介质层,网板表面和内通道壁上蒸发MgO和MgF2薄膜,一次电子在电场作用下轰击薄膜层将激发大量二次电子和背散射电子,弥补了栅极对初始电子的截获,提高了器件发射电流密度和发光亮度.文中对该模型中二次电子发射过程进行了数值模拟计算并进行了相关验证实验.

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