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观察和分析了微电子器件SiO2介质覆盖层对Al-Cu金属化系统可靠性的影响。在1.2×106A/cm2、300℃、N2气氛保护的电徙动实验条件下,SiO2覆盖层影响着Al-Cu膜互连线的形态和晶粒尺寸,使Al-Cu膜晶粒尺寸从0.5~1.01m长大至2~3m;从而有效地提高了Al-Cu膜的电徙动寿命。