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研究了在modified-ψ衍射几何条件下，铍材表层中存在不同应力梯度时的d-sin^2ψ曲线的形状，确定了铍材表层内的应力梯度对常规的X射线应力测试的影响，结果表明：在通常的sin^2ψ≤0．5的应力测试范围内，应力梯度对测试曲线有明显的影响，应力测试值因应力梯度的存在而偏离真实值，选择合适的靶材以减小X射线对铍材的穿透深度，可以减小应力测试的误差。