【摘 要】
：
采用射频磁控溅射技术在RB-SiC表面沉积Si平坦化层,通过正交试验研究了射频功率、Ar流量和工作气压三个因素对薄膜表面质量和形貌的影响规律,以获取最佳的薄膜沉积参数.射频
【机 构】
：
西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
【基金项目】
：
国防基础科研项目(No.JCKY2016208A002);陕西省科技厅重点实验室项目(No.2013SZS14-Z02);陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(No.15JS032)资助~~
论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射技术在RB-SiC表面沉积Si平坦化层,通过正交试验研究了射频功率、Ar流量和工作气压三个因素对薄膜表面质量和形貌的影响规律,以获取最佳的薄膜沉积参数.射频功率120 W、工作气压1.2Pa和Ar流量40sccm条件下获得了最佳质量的平坦化样品,利用电感耦合等离子体对平坦化膜层进行刻蚀抛光,通过Lambda950分光光度计测试不同工艺阶段样品表面的反射率.结果表明,相比于未处理的RB-SiC初始样品,经过平坦化和等离子体刻蚀的样品表面粗糙度标准差值由1.819nm减小至0.919nm,样品
其他文献
国际人道法发展至今,其最核心的要义便是“保护”,它不管战争是否符合正义,也不管战争的责任要向谁追究,只是有一个单纯的目的,便是尽量减小战争给世界人民带来的灾难。国际人道法特别注重保护平民,特别是妇女、儿童、难民、被拘留者等,努力地保障着战争或武装冲突下易受侵犯的人权。在二战以前,国家间的国际性武装冲突时有发生,国际人道法便在国际性武装冲突的土壤中生根发芽,不断成长。二战之后,国家间的战争越来越少,
在梳理作战适用性及作战效能试验与评价基本概念的基础上,对美军作战适用性及作战效能试验与评价发展历程进行研究,并总结美军作战适用性及作战效能试验与评价的管理特点,可
今年 2月 24日英国首相布莱尔发表了题为<英国政府未来的能源--创建一个低碳经济体>的白皮书.
航空发动机的主轴支承轴承持续在高温环境、高速条件下工作,采用环下供油的润滑方式可以有效地降低轴承内圈的工作温度,而环下润滑中的集油结构位于高速对转的高、低压轴间。
借助相关绩效管理理论,首先探讨了开发类科研院所高层管理者年度绩效考核指标体系的设计原则;其次,紧密结合某开发类科研院所实际,采用Delph i法调查提出了从经营业绩、管理
航空工业飞机的仪表显示了飞机的实时航行情况,是判断飞行状态的重要依据。随着玻璃座舱的广泛使用,采用液晶多功能显示屏作为虚拟仪表替代传统的电子仪表、机械仪表已成为现
<正>9月20日,"光之韵——林铭述中国现代建筑摄影作品展"在北京建筑大学艺术馆开展。展览以林铭述70幅中国现代建筑摄影佳作为新中国成立70周年献礼。其中有林铭述之父林乐义
随着水利水电工程建设范围、规模的不断扩大,抽水蓄能电站逐步拦河而建,其地下硐室群具有埋深大、地下水水头高、且一般位于地下水位以下的特点。在这种复杂地质环境条件下,
光学字符识别是模式识别领域的重要分支。近年来,汉字、英文等主流文字识别技术飞速发展,与这些主流文字相比,维吾尔识别技术起步较晚,相关的研究成果较少。维吾尔文识别技术的研究对推动我国少数民族地区的发展、传承和弘扬少数民族的优秀文化、维护民族团结具有重大意义。因此,维吾尔文识别技术的研究是十分必要的。维吾尔文识别技术的研究包括手写体和印刷体两方面,其中印刷体维吾尔文识别技术的研究有基于字符和基于整词的
《第二二胡协奏曲——追梦京华》是著名作曲家关乃忠所作,是应中国交响乐团之约为二胡和交响乐队而写的一首协奏曲,全曲共分为《闹春》、《夏夜》、《金秋》、《除夕》四个乐章,其中第四乐章《除夕》最具特色,深受二胡爱好者的推崇。本文将从五个部分对《除夕》演奏风格进行分析:第一部分是作品的创作背景;第二部分是《除夕》的创作特点;第三部分是形成不同演奏风格的原因;第四部分是从几个方面来对宋飞和胡志平的演奏风格进