论文部分内容阅读
根据键合过程和半导体中杂质扩散的规律建立了硅片直接键合工艺的数学模型，得到了键合后硅片中杂质的浓度分布．并利用MATLAB软件，编写了键合工艺模拟程序，计算结果与实验进行了比较．该模型可以为相关器件的研究提供参考．
硅片直接键合杂质分布的模型与模拟
【摘 要】
：
根据键合过程和半导体中杂质扩散的规律建立了硅片直接键合工艺的数学模型，得到了键合后硅片中杂质的浓度分布．并利用MATLAB软件，编写了键合工艺模拟程序，计算结果与实验进行了比
【机 构】
：
东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2003年8期
其他文献
报道行了4H－SiC混合PN／Schottky二极管的设计、制备和特性。该器件用镍作为肖特基接触金属，使用了结终端扩展（JTE）技术。在肖特基接触下的n型漂移区采用多能量注入的方法形成P区而
化学作为一门科学性、探究性、活动性并重的学科,要求教师在课堂教学中,必须注重培养学生的独立性和自主性,引导学生主动学习。而创设有助于激发学生学习兴趣、促进学生主动
初中英语教学中存在着两级分化现象，教师要提高自身素质，改革教学方法，改变师生关系，使学生打好基础，备足后劲，真正实现从应试教育向素质教育的转变。
开展了使用TEOS和H2O混合物进行PECVD生长SiO2膜的研究工作，氧化硅折射率分布在1．453±0．001的范围，且随偏离中心距离基本不变，薄膜厚度是中央大，边沿薄，其厚度相对变化不超过&#
教师在教育教学活动中要建立与学生的良好关系，师生之间只有建立了互相沟通、互相和谐、相互信任的关系，才可能适应现代教育发展的客观需要。
提出了一种新的环振式数字加速度传感器，它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件，两个反方向变化的环振输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减．该传感器具有准数字
介绍了在聚乙烯醇衬底中利用离子络合法制备未掺杂和掺铜的ZnS纳米微粒。TEM图表明ZnS纳米微粒较均匀地分布在PVA衬底上，粒径在1－10nm，且具有类似体材料的立方结构。与未掺杂ZnS
课程标准提倡采用“任务型”的教学途径教学方法，引导学生去思考、调查、讨论、交流和合作，学习和使用英语来完成学习任务。“任务型”的课堂教学就是在英语学科的教学目标确定
青春期是人生发展最重要也是必须经历的关键时期，被心理学家认为是人生的第二次诞生，高中阶段又是学生异性交往最为频繁敏感阶段，是青少年性心理发展的一个重要阶段，异性交往动机