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分析了束流纹波系数对全机械扫描强流离子注入机重复性的影响，并进行定量的计算。计算结果表明，要使注入重复性达到小于或等于１％，束流纹波必须稳定在１０％以内，该结果在ＬＣ－１１型强流主子注入机中得到了验证。
束流纹波对全机械扫描离子注入机重复性的影响
【摘 要】
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分析了束流纹波系数对全机械扫描强流离子注入机重复性的影响，并进行定量的计算。计算结果表明，要使注入重复性达到小于或等于１％，束流纹波必须稳定在１０％以内，该结果在ＬＣ－１１型强流主子注入机
【机 构】
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电子部第四十八研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年1期
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