微腔阵列式多功能生物传感器

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kyleSun81
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报导了谷氨酸、半乳糖集成传感器的制造和表征.传感器建立在硅衬底上用各向异性腐蚀制成的锥形微腔阵列上,同酶膜沉积在相应的微腔中.采用这种结构可生产多功能的生物传感器 .
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