论文部分内容阅读
在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽.在多晶硅层完全去除后在硅衬底中诱生出高密度的氧化层错起吸除中心作用.多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长,起内吸杂作用.本文提出了多晶硅持续吸杂的机理.
淀积在硅片上起杂质吸除用的多晶硅的研究
【摘 要】
：
在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽.在多晶硅层完全去除后在硅衬底中诱生出高密度的氧化层错起吸除中心作用.多晶
【机 构】
：
上海市计量测试技术研究院,上海硅材料厂,复旦大学材料研究所
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
：
2001年4期
其他文献
我院对省教育厅组织的专业评估给予了高度重视.专业评估对促进我院正确办学理念、教育观念的形成;对我院教师角色的转换和师资队伍的建设;对实践性教学强化;对学院管理规范化
碘是人体必需的微量元素之一，为了保证人体正常碘元素的摄入量，国家对食盐加工做出明确规定，要求食盐中必须添加适量的碘，防止碘缺乏或过量对人体产生的危害。因而对食盐加碘技术进行深入研究，并改进，提高其精确度，有利于人体的健康。 国内主要的食盐加碘技术介绍 目前来讲，国内主要的食盐加碘技术从食盐的状态可以分为两类：床前湿盐加碘和干盐加碘。这两种技术又可进一步细分。下面主要对当前主流的几种加碘工艺进行
海参，狭义指海参属，全世界海参有几千种，但其中只有40多种能食用。海参无胆固醇、低脂肪、高蛋白质，且富含多种微量元素，是营养价值极高的保健食品。活海参离开生长环境后如条件不
材料的开发、使用和完善始终贯穿于人类的发展史,工业设计的过程实质上是对材料的理解、认识和改造的过程。产品形式的选择不仅是用来提供功能,同时也用来建立产品的美感,唤
目的探讨输尿管镜下尿道会师术治疗急性闭合性尿道损伤的治疗效果。方法对31例尿道损伤患者早期采用输尿管镜下尿道会师术治疗。结果31例患者均一次会师成功，30例获得随访5个
以应急车辆单个交叉口延误最小为控制目标，提出了延长绿灯时间、缩短红灯时间以及多相位协调优先3种信号优先控制策略。重点研究了基于应急车辆流量比的多相位信号优先模糊控
耳后切口及枕后部切口的手术，以往大多是在全麻或局麻加强化下进行。2002年1月以来，我们开展在颈丛神经阻滞下实施耳后切口单纯乳突凿开手术、乳突根治术及枕后部切口手术216例
小米的营养成分 一直以来，小米都是人们非常喜愛的一种谷类作物。它主要在华北、西北等地区生产。小米主要生产在中国，中国产的小米大约能占到全球小米产量的80%左右。此外，印度也会生产一些小米，而欧美等西方发达国家生产的小米数量就非常少了。小米具有较多营养成分，包括碳水化合物、蛋白和氨基酸、脂肪和脂肪酸、维生素等等，并且各种营养素的比例也比较合适，对于人体来说是非常重要的营养来源。在民间，小米通常会用
15年里,黄酒、葡萄酒、进口酒、预调酒的发展起起伏伏,但整体来说,国人喝酒的品类越来越多,各类酒品在市场竞争中百舸争流.同时随着移动互联网的加入,酒行业渠道的深度变革业