多晶硅吸杂相关论文
该文阐述了ＬＰＣＶＤ生长多晶硅对于Ｐ型〈１１１〉硅片的吸杂作用，通过对多晶硅的微观机构的研究来探讨多晶硅吸杂的吸杂机理。......
用透射电镜（ＴＥＭ），扫描电镜（ＳＥＭ）和光学显微镜研究了淀积在单晶衬底上的多晶硅层的吸杂能力，研究显示多晶硅还存在两种吸杂的效能：一是能增强内吸......
在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽.在多晶硅层完全去除后在硅衬底中......
