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<正> 一、前言扩散型压力传感器已有不少报导。本文介绍的多晶硅薄膜压力传感器则具有许多不同点。例如,感知变形的为多晶硅薄膜、设有电绝缘层、膜片为金属薄膜等。二、多晶硅薄膜的压电电阻效应(杂质浓度、晶粒直径、晶界)在半导体中,其电阻值可用载流子数(载
多晶硅薄膜半导体压力传感器
【摘 要】
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<正> 一、前言扩散型压力传感器已有不少报导。本文介绍的多晶硅薄膜压力传感器则具有许多不同点。例如,感知变形的为多晶硅薄膜、设有电绝缘层、膜片为金属薄膜等。二、多晶
【出 处】
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国外计量
【发表日期】
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1987年01期
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