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将研究辐射换热问题的区域法引入壁面间的辐射换热计算，建立了MOCVD壁面温度的计算模型，应用该模型计算了径向三重流MOCVD反应器的壁面温度分布．结果表明，在反应器的不同部位，壁面温度分布的规律有所不同．当径向三重流MOCVD反应器处于自然对流的环境时，壁面的最大温差可达123K，如此大的温差将会对反应器内的气体流动和沉积过程产生影响；为了使反应器的温度保持在较为恒定的低温，外壁面的强制对流换热系数应大于84W／（m^2·K）．