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研制了用于纳米计量的双成象单元扫描隧道显微镜－原子力显微镜，由扫描隧道显微镜参考单元和原子显微镜被测单元组合而成，两者共用同一ＸＹ扫描器，同时对参考样品石墨和被测样品扫描成象，得到的石墨原子晶格参数图象与被测样品图象横向尺度相同，计数前者的原子晶格个数，即可精确测定被没测样图象的尺寸，利用本方法可对任何样品表面的超微观结构进行了严格的纳米计量。