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依据阵列波导光栅（AWG）的传输理论，分析了工艺公差对硅基聚合物AWG波分复用器性能的影响，分析结果表明，工艺公差将引起AWG传输光谱的漂移，并使串扰增大，为了实现AWG器件正常的解复用功能，我们对AWG工艺公差的累积和补偿效应进行了讨论。
工艺公差对阵列波导光栅波分复用器性能的影响
【摘 要】
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依据阵列波导光栅（AWG）的传输理论，分析了工艺公差对硅基聚合物AWG波分复用器性能的影响，分析结果表明，工艺公差将引起AWG传输光谱的漂移，并使串扰增大，为了实现AWG器件正常的解复用
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,吉林师范大学
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2006年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（批准号：60576045）
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