【摘 要】
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本文主要通过珀金—爱尔默公司的微对准500系列光刻机叙述了鉴定光刻机套刻性能的过程和结果,讨论了机器在接触复印中以及两台机器匹配混合光刻中的套刻、稳定性和自动对准情
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本文主要通过珀金—爱尔默公司的微对准500系列光刻机叙述了鉴定光刻机套刻性能的过程和结果,讨论了机器在接触复印中以及两台机器匹配混合光刻中的套刻、稳定性和自动对准情况。初步的自动对准结果表明应用98％这一极限其中包括对准和畸变误差,可以使总套刻测量精变保持在0.3微米以内。
This paper describes the process and results of characterizing lithography engraving using Perkin-Elmer micro-alignment 500 series lithography machines. The paper discusses the mechanical and mechanical performance of the machine in contact copier and two-machine matched hybrid lithography Engraving, stability and auto-alignment. The initial results of the auto-alignment show that the 98% limit, including the alignment and distortion errors, can keep total envelope measurements within 0.3 microns.
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