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调制掺杂AlGan／GaN异质结上的Pt肖特基接触

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liudanfeng123

【摘 要】

：

研究了调制掺杂AlxGa1-xN/GaN表面Pt肖特基接触的制备工艺,并对其进行了Ⅰ-V测量.通过改变对样品表面的处理工艺,研究了表面处理对调制掺杂AlxGa1-xN/GaN表面Pt肖特基结接触

【作 者】

：

刘杰 沈波 周玉刚 周慧梅 郑泽伟 张荣 施毅 郑有炓 

【机 构】

：

南京大学物理系

【出 处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

调制掺杂 ALGAN/GAN异质结 肖特基接触 表面处理 modulationdoped AlxGa1-xN/GaN heterostructure  Scho 

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研究了调制掺杂AlxGa1-xN/GaN表面Pt肖特基接触的制备工艺,并对其进行了Ⅰ-V测量.通过改变对样品表面的处理工艺,研究了表面处理对调制掺杂AlxGa1-xN/GaN表面Pt肖特基结接触特性的影响,在n型掺杂浓度为7.5×1017cm-3的Al022Ga0.8N样品表面,制备得到了势垒高度为0.94 eV、理想因子为1.4的Pt肖特基接触.这与国外报道的结果接近(φ=1.2 eV,n=1.11 [l]).

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