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ＳＴＭ作为一种新型的纳米加工工具，在微电子制造，量子，分子器件的制作以及在原子分子尺度内的操作与构建等方面有极大的应用潜力。本文对ＳＴＭ纳米加工方法进行了初步分类，简略介绍了其一般工作原理及发展状况，讨论了其未来的应用前景。
STM纳米加工技术进展
【摘 要】
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ＳＴＭ作为一种新型的纳米加工工具，在微电子制造，量子，分子器件的制作以及在原子分子尺度内的操作与构建等方面有极大的应用潜力。本文对ＳＴＭ纳米加工方法进行了初步分类，简略介绍了其一般
【机 构】
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东南大学吴健雄实验室
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1994年2期
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