目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术,由于其受到光学衍射极限的物理限制,在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,......

Patterned chemical template consisting of both amine- and methyl-terminated self-assembled monolayers has been fabricate......

机械加工以连续介质理论为基础，化学则侧重于对离散的化学键的操作，因而两者有本质的区别。但在纳米加工领域，机械学面；临着化学键的不......

原子力显微镜是一种重要的纳米加工工具,在强电场的辅助下,可以实现凸起或凹陷的纳米结构加工,为纳米器件的制造提供技术支持。电......

概述了光学光刻技术向纳米制造挺进过程中光源、光学系统、照明技术、掩模设计、抗蚀剂、光学邻近效应校正、工作台等方面的进展以......

ＳＴＭ作为一种新型的纳米加工工具，在微电子制造，量子，分子器件的制作以及在原子分子尺度内的操作与构建等方面有极大的应用潜力。本文对ＳＴＭ纳......