【摘 要】
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为了研究蒸发速率对ZnS薄膜的折射率、表面形貌和应力等性能的影响,本文采用电子束蒸发技术进行了ZnS薄膜的制备.首先在K9玻璃基片上镀制薄膜,采用分光光度计进行透射率曲线
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,甘肃 兰州 730000
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为了研究蒸发速率对ZnS薄膜的折射率、表面形貌和应力等性能的影响,本文采用电子束蒸发技术进行了ZnS薄膜的制备.首先在K9玻璃基片上镀制薄膜,采用分光光度计进行透射率曲线的测试,利用光谱反演法得出薄膜的折射率,采用原子力显微镜表征了样品的表面形貌.最后在聚酰亚胺基底上镀制薄膜,利用Stoney公式计算出薄膜的应力.结果表明,随着蒸发速率的增加,薄膜折射率先增大后减小,在2000nm波长处薄膜的折射率最大值为2.21,最小值为2.07.蒸发速率越大,薄膜样品表面结构越疏松.不同蒸发速率下制备的薄膜均呈现压应力,增大蒸发速率可以显著降低薄膜应力.ZnS薄膜的性能受蒸发速率影响显著,蒸发速率为1.5nm/s时折射率可达到最大值,蒸发速率为2.5nm/s时薄膜应力最小.
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