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期刊论文
电容-电压法测定纳米硅的禁带宽度
电容-电压法测定纳米硅的禁带宽度
来源 :西北师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cx8105
【摘 要】
:
在p型单晶硅衬底上沉积1层n型纳米硅薄膜制成nc-Si/c-Si异质结二极管,测量了异质结的C-V特性.根据C-V实验曲线,计算出异质结的接触电势差,再用接触电势差计算了导带的偏移量,
【作 者】
:
张开彪
马书懿
陈海霞
马自军
【机 构】
:
西北师范大学
【出 处】
:
西北师范大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2005年2期
【关键词】
:
纳米硅
异质结
C-V特性
禁带宽度
ncSiheterojunctionCVbandgap
【基金项目】
:
国家自然科学基金,教育部科学技术基金,甘肃省自然科学基金,西北师范大学校科研和教改项目
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在p型单晶硅衬底上沉积1层n型纳米硅薄膜制成nc-Si/c-Si异质结二极管,测量了异质结的C-V特性.根据C-V实验曲线,计算出异质结的接触电势差,再用接触电势差计算了导带的偏移量,进而求得禁带宽度.计算结果与其他文献报道的结果符合得很好.
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