气相法同质外延金刚石单晶薄膜的研究

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本文以<100>和<111>两种取向的金刚石为衬底,用微波PCVD法进行了同质外延实验,考察了衬底取向、反应气体、碳源浓度等因素对外延层形貌与结构的影响,给出了获得比较理想单晶外延层的实验条件 In this paper, two kinds of oriented diamonds, <100> and <111>, were used as substrate. The homoepitaxial experiment was conducted by microwave PCVD method. The effects of substrate orientation, reaction gas and carbon source concentration on the epitaxial layer morphology and structure The experimental conditions for obtaining the ideal single crystal epitaxial layer are given
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