【摘 要】
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环境扫描电子显微镜(ESEM)中所指的环境并非真正意义上的大气环境(760 Torr),与传统扫描电子显微镜(SEM)样品室高真空度相比,ESEM样品室的真空度可以很低(约达20 Torr).ESEM
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环境扫描电子显微镜(ESEM)中所指的环境并非真正意义上的大气环境(760 Torr),与传统扫描电子显微镜(SEM)样品室高真空度相比,ESEM样品室的真空度可以很低(约达20 Torr).ESEM是在传统的SEM样品室中多一个GSED探头,因此,它在传统的SEM基础上增添了新的功能.其主要的特点是,可以观察含适量水分的样品和非导体材料样品,比如植物的叶片、动物中的昆虫、作物的籽粒[1]、含结晶水的固体材料等.
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