论文部分内容阅读
搭建了一套由高冲击加载系统、温度加载系统以及高速显微光学成像系统组成的典型微机电系统(MEMS)结构温度相关动态测试系统,用该系统对引信用MEMS后坐保险机构在温度和冲击载荷耦合环境下进行动态特性测试,得到了不同温度(-40℃-50℃)下引信用MEMS后坐保险机构中滑块相对于基板框的位移-时间曲线以及速度-时间曲线。通过对比分析,得出冲击条件下温度对MEMS后坐保险机构中滑块相对于基板框的位移以及速度的影响规律。