【摘 要】
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采用喷雾热解法在玻璃基板上制备了SnO2:F+Sb薄膜,对薄膜的结构及性能进行了研究.用STM对薄膜表面进行表征,发现薄膜表面光滑平整,粗糙度Ra为16.283nm.四探针测试仪测定薄膜
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采用喷雾热解法在玻璃基板上制备了SnO2:F+Sb薄膜,对薄膜的结构及性能进行了研究.用STM对薄膜表面进行表征,发现薄膜表面光滑平整,粗糙度Ra为16.283nm.四探针测试仪测定薄膜方阻为60Ω/□,电阻率为2.1×10-3Ω·Cm.用XRD表征薄膜结构,薄膜为四方相多晶SnO2结构,说明掺杂没有该变薄膜结构.对薄膜的光学性能进行了测试,可见光透过率达到80%,在2500nm处的中远红外区反射率由镀膜前的6%上升到36%.按国家标准测试了镀膜玻璃耐酸碱稳定性,实验前后薄膜的可见光透过率变化＜3%,符合国家标准.同时本研究还对镀膜玻璃的保温性能进行了测试,结果表明本实验制备的镀膜玻璃具有较好的保温性能.
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