【摘 要】
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以废切削液回收PEG后剩余的废砂为原料，采用酸溶和碱溶两种方法除去废砂中的多晶硅杂质，回收SiC微粉，并对两种方法的可行性及工艺条件进行了研究。结果表明，酸法除硅时，当HF浓度为
【基金项目】
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国家十一五科技支撑计划项目(2006BAD05A07)
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以废切削液回收PEG后剩余的废砂为原料，采用酸溶和碱溶两种方法除去废砂中的多晶硅杂质，回收SiC微粉，并对两种方法的可行性及工艺条件进行了研究。结果表明，酸法除硅时，当HF浓度为4mol／L，硝酸浓度为2mol／L，温度为35℃，反应时间为70min时，可使回收微粉中硅杂质含量在0．1％-0．2％。碱法除硅时，当NaOH的溶液3％左右，温度在70℃，反应时间2h，可使回收微粉中硅杂质含量在0．2％～0．3％。粒度分析表明，酸法及碱法回收产品粒径分布均能满足指标要求，且碱法回收产品粒径分布与新砂一致。
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