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本文主要叙述了双层金属布线中介质平坦化的工艺及原理.
双层金属布线中介质平坦化技术
【摘 要】
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本文主要叙述了双层金属布线中介质平坦化的工艺及原理.
【机 构】
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东北微电子研究所,北京广播学院
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2004年2期
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