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基于理论计算和实验，对采用MBE方法生长的不同组份的A1GaAsSb／InGaAsSb材料的应变进行了研究。结果表明，通过对材料中的As组份调节，可以对材料中的应变进行控制，达到良好的应变补偿效果，实验结果和理论计算相当吻合。
MBE生长AlGa AsSb/InGa AsSb材料的应变控制
【摘 要】
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基于理论计算和实验，对采用MBE方法生长的不同组份的A1GaAsSb／InGaAsSb材料的应变进行了研究。结果表明，通过对材料中的As组份调节，可以对材料中的应变进行控制，达到良好的应变补
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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2004年3期
【基金项目】
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国家“8 63”计划项目 ( 2 0 0 2AA3 13 0 40) ,,国家“973”计划项目 (C2 0 0 0 0 683 ),,国家自然科学基金重点项目 ( 60 13 60 10 )资助
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