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本文介绍用乙炔一氧火焰沉积金刚石薄膜,在适当的工艺条件下得到的样品,经X射线分折确定为立方结构金刚石,经拉曼谱分析为不含石墨、不含无定型碳的纯金刚石多晶金刚石薄膜。本文还讨论了基底温度对沉积过程的影响,还对金刚石薄膜生长和合成机制进行了讨论。
化学火焰法（CFD）沉积金刚石薄膜
【摘 要】
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本文介绍用乙炔一氧火焰沉积金刚石薄膜,在适当的工艺条件下得到的样品,经X射线分折确定为立方结构金刚石,经拉曼谱分析为不含石墨、不含无定型碳的纯金刚石多晶金刚石薄膜。
【机 构】
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北京科技大学,北京科技大学
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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1991年3期
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