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超声行波微流体驱动与目前的微流体驱动技术不同，在超声行波的驱动下，借助摩擦力、声流和声辐射压驱动流体，具有无可移动部件的优点，可望在微流体散热、生化分析和药物释放领域得到应用．本文首先讨论了模型的模态选择及控制方法，然后基于有限元分析，讨论了模型固有频率与模型的结构参数之间的关系，分析了沟道尺寸对固有频率的影响．通过谐响应分析，在谐振频率处成功激励出我们所需的模态，得到幅频响应特性，最后对模型进行声固耦合分析，得出声场流体密度和声速对模型固有频率的影响及声压分布规律，为模型的进一步优化设计提供指导．