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Chemraz XTR是全氟橡胶产品,能提供高氟环境下的抗化学腐蚀性,尤其是在高温的CIF3,和NF3条件下。全氟化合物定位于苛刻的应用挑战中,尤其是在氮化钛和其他氮化物薄膜的ALD沉积工艺,沉积膜具有高粘附性和高化学抗性。该产品适合静态和半动态干法晶圆工艺应用。在高达300℃(572°F)的温度下仍能保持稳定,能用作密封产品。