【摘 要】
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皮秒激光具有皮秒(10-12 s)量级的脉冲宽度,与电光弛豫时间(10-610-12 s)相当或比电光弛豫时间更短。皮秒激光与材料作用时,由于电子来不及将能量传递给晶格,以至于整个加工
【机 构】
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中国科学院理化技术研究所空间功热转换技术重点实验室,
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皮秒激光具有皮秒(10-12 s)量级的脉冲宽度,与电光弛豫时间(10-610-12 s)相当或比电光弛豫时间更短。皮秒激光与材料作用时,由于电子来不及将能量传递给晶格,以至于整个加工过程中几乎没有热作用的存在,被称为"冷烧蚀"过程,因此皮秒激光在航空航天、国防、材料、医学、生物等领域的精密加工中有广泛的用途。简要介绍了研制适用于微纳加工的皮秒激光器的技术路线,综述了皮秒激光在高硬度金属精密制孔、硬脆性材料切割以及材料表面选择性去除方面的研究进展,探讨了目前皮秒激光微纳加工存在的问题,并展望了其可能的发展方向。
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