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介绍了一种非致冷红外探测器杜瓦组件的封装设计;对探测器件在真空封装过程中的关键工艺技术进行了比较深入的分析;阐述了影响组件真空寿命及可靠性的因素以及解决措施。
一种非致冷红外探测器真空封装的研究
【摘 要】
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介绍了一种非致冷红外探测器杜瓦组件的封装设计;对探测器件在真空封装过程中的关键工艺技术进行了比较深入的分析;阐述了影响组件真空寿命及可靠性的因素以及解决措施。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第16研究所
【出 处】
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低温与超导
【发表日期】
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2012年11期
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