论文部分内容阅读
盛美半导体设备,近日推出了新款薄型晶圆清洗系统。这是一款高产能的四腔系统,可应用于单晶圆湿法工艺,包括清洗、蚀刻、去胶和表面湿法减薄。
盛美推出应用于大功率半导体器件制造的新款薄片清洗设备
【摘 要】
：
盛美半导体设备,近日推出了新款薄型晶圆清洗系统。这是一款高产能的四腔系统,可应用于单晶圆湿法工艺,包括清洗、蚀刻、去胶和表面湿法减薄。
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2020年5期
其他文献
TΦPSOE甲醛装置连续三次使用德国南方公司提供的甲醛催化剂,均出现由于第二反应器工艺气进口管道严重结碳和第二反应器催化剂床层压差上升异常,导致甲醛装置无法继续运行。
在理论界，对于精神损害范围的界定主要存在着两种学说：狭义说和广义说。通过对两种学说的比较分析来界定精神损害的范围，即精神损害应包括精神痛苦以及精神利益的丧失和减损。法
随着铝合金焊接结构大型化发展,原位焊接制造成为关注的焦点,其中最为典型的应用是重型运载火箭燃料贮箱的焊接,而铝合金横焊技术成为制约其发展的瓶颈。铝合金横焊难度较大
基质金属蛋白酶9(MMP-9)是一种具有降解功能的锌依赖性内肽酶,在神经系统生理发育及病理损伤过程中起重要作用。在缺血性脑卒中过程中,MMP-9通过破坏血脑屏障、促进炎性细胞
全国首创金融惠牧"四体一保"发展模式与生猪复养金融解决方案,为生猪复养提供了全方位的风险保障;开发种、养、林、涉农保险196款,在多个领域实现重大行业突破;对河南全省农
民办高校融资研究是关系到民办高校能否向前发展以及如何向前发展的研究,不仅可以加深人们对高等教育规律和供求关系的理解,而且有助于民办高校遵循教育市场逻辑,借助各种社
复习课是小学数学课中的重课型之一。在小学数学复习课的教学中,要走出“炒冷饭”的误区。在复习课堂上,教师要大胆地把学生的典型性错误展示出来,并以此为资源开展复习教学
核心素养是当前教育研究领域的重要议题。德育作为学校工作的重要环节,在培养学生核心素养的过程中发挥着极其重要的作用,其过程直接影响着学生的全面发展。本文根据核心素养