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基于膜分子和气相分子在沉积时竞争的观点,得到压强和温度对薄膜折射率影响的理论模型.模型的研究表明,薄膜折射率随真空压强的增加而降低;并随沉积温度的增加而增加.在不同真空压强和不同沉积温度下制备了氧化锆薄膜,计算了样品的折射率,结果显示的规律和理论模型的规律基本一致.
压强和温度对薄膜折射率的影响模型
【摘 要】
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基于膜分子和气相分子在沉积时竞争的观点,得到压强和温度对薄膜折射率影响的理论模型.模型的研究表明,薄膜折射率随真空压强的增加而降低;并随沉积温度的增加而增加.在不同
【机 构】
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上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海市嘉定区嘐城实验学校
【出 处】
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上海理工大学学报
【发表日期】
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2007年2期
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