【摘 要】
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随着先进材料制造技术快速发展，各类低维材料与新型结构不断涌现，迫切需要发展测量材料内微观结构力学信息的实验新方法，这也是精密机械、半导体芯片等高科技领域关键技术背后的基础科学问题．以显微拉曼光谱为代表的光谱力学方法，具有无损非接触、在线原位、对本征与非本征应力/应变均敏感、较高的时空分辨率与应力灵敏度、一定深度内部探测以及协同表征与解耦分析的能力等技术特征．光谱力学方法是通过定量表征材料内部形变发
【出 处】
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天津大学学报(自然科学与工程技术版
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（12125203,12021002,11827802,11890682）～～；
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随着先进材料制造技术快速发展，各类低维材料与新型结构不断涌现，迫切需要发展测量材料内微观结构力学信息的实验新方法，这也是精密机械、半导体芯片等高科技领域关键技术背后的基础科学问题．以显微拉曼光谱为代表的光谱力学方法，具有无损非接触、在线原位、对本征与非本征应力/应变均敏感、较高的时空分辨率与应力灵敏度、一定深度内部探测以及协同表征与解耦分析的能力等技术特征．光谱力学方法是通过定量表征材料内部形变发生变化引起光谱谱线形状的变化来实现应变/应力的相对直接的测量，对于整体变形细微、内部应力状态与分布复杂且动态演化的研究对象具有独特的适用性，故而近年来受到固体力学及相关交叉学科领域的特别关注．围绕显微拉曼光谱、显微荧光光谱（含光致荧光光谱和阴极发光光谱）和太赫兹波时域光谱等主要的光谱力学方法，综述各自的力学表征原理与适用材料、当前仪器发展水平与关键指标、应用研究的现状，重点列举了该类技术在微电子/微结构残余应力检测、复合结构界面力学行为研究、涂层结构内部界面区域应力定量表征、二维材料异质结与新型半导体纳米线应变工程等方面具有代表性的研究成果和突出进展，并给出了光谱力学方法与仪器发展面临的瓶颈问题与未来研究趋势．
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