【摘 要】
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本文介绍氢离子敏感半导体器件.它具有体积小,性能可靠,响应时间快等优点,可以代替普通玻璃电极.在缓冲溶液中,检测氢离子的活度时,实验结果证明,在酸、碱溶液中,测得的漏源
【机 构】
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西安交通大学电子工程系; 西安交通大学基础课程部;
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本文介绍氢离子敏感半导体器件.它具有体积小,性能可靠,响应时间快等优点,可以代替普通玻璃电极.在缓冲溶液中,检测氢离子的活度时,实验结果证明,在酸、碱溶液中,测得的漏源电流IDS与溶液的PH值呈线性关系;VGS?与PH值呈线性关系.据国外报道[1],采用SiO2膜作为敏感层的氢离子敏感半导体器件,寿命短,不稳定,测量氢离子活度范围窄（PH值在7～8.5之间）,且未报道制作的具体工艺.国内也尚未见这方面的报道.我们针对以上问题,改进了工艺条件,试验成功氢离子敏感半导体器件,其性能稳定,并扩大了测量氢离子活度范围（PH值在2～11之间）.
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