【摘 要】
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近年来,LED光源在我国发展十分迅速,其低能耗、支持高速开关、响应速度快、冷光源等特点,相比其他光源具有极大的技术优势,在我国应用空间十分广阔.晶园键合技术是目前微机电生产领域的热门技术之一,课题研究由此出发,深入分析探讨晶圆键合技术在LED制备中的应用,深入分析技术应用的优势、难点以及未来的发展方向.
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近年来,LED光源在我国发展十分迅速,其低能耗、支持高速开关、响应速度快、冷光源等特点,相比其他光源具有极大的技术优势,在我国应用空间十分广阔.晶园键合技术是目前微机电生产领域的热门技术之一,课题研究由此出发,深入分析探讨晶圆键合技术在LED制备中的应用,深入分析技术应用的优势、难点以及未来的发展方向.
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