【摘 要】
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在沿介质线的180×300mm~2的大范围内,行波产生了2.45GHz 的均匀有源微波等离子体。氩(Ar)等离子体的亮度温度在644±17℃以内。在200帕的气压下,电子温度和密度相应为4eV 和
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在沿介质线的180×300mm~2的大范围内,行波产生了2.45GHz 的均匀有源微波等离子体。氩(Ar)等离子体的亮度温度在644±17℃以内。在200帕的气压下,电子温度和密度相应为4eV 和4×10~(11)cm~(-3),与小微波等离子体发生器具有相同的数量级。能容易地扩大等离子体面积。
In the wide range of 180 × 300 mm ~ 2 along the dielectric line, the traveling wave produces a uniform active microwave plasma of 2.45 GHz. Argon (Ar) plasma brightness temperature of 644 ± 17 ℃ or less. Under the pressure of 200 Pa, the electron temperature and density are 4eV and 4 × 10 ~ (11) cm ~ (-3), respectively, which is the same order of magnitude as that of the small microwave plasma generator. The plasma area can be easily enlarged.
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