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采用直流热阴极等离子体化学气相沉积（直流热阴极PCVD）法，以硼酸三甲酯为硼源，通过金刚石膜的间歇式生长过程，制备硼掺杂纳米金刚石膜，研究不同的硼源流量对硼掺杂纳米金刚石膜的影响，并用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪对样品进行了表征．
掺硼浓度对间歇法生长硼掺杂纳米金刚石膜的影响
【摘 要】
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采用直流热阴极等离子体化学气相沉积（直流热阴极PCVD）法，以硼酸三甲酯为硼源，通过金刚石膜的间歇式生长过程，制备硼掺杂纳米金刚石膜，研究不同的硼源流量对硼掺杂纳米金刚石膜的影
【机 构】
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牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室
【出 处】
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牡丹江师范学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2011年3期
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