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报道了一种基于厚膜工艺的氢气传感器。首先采用丝网印刷工艺制作铂加热器线条,再在其上面分别覆有纳米催化剂/氧化铝形成气敏元件、涂覆纳米氧化铝构成补偿元件,最后制成氢气传感器。测试结果表明:传感器灵敏度大于21 m V/1%H2,响应时间小于30 s,非线性和重复性优于2%。
厚膜氢气传感器设计
【摘 要】
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报道了一种基于厚膜工艺的氢气传感器。首先采用丝网印刷工艺制作铂加热器线条,再在其上面分别覆有纳米催化剂/氧化铝形成气敏元件、涂覆纳米氧化铝构成补偿元件,最后制成氢
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2020年6期
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