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本文提出了测定结晶硅中六个杂质元素的光谱定量分析方法,阐述了整个分析方法的详细过程.分析结果的相对误差为±6.7及—13.3%;回收率为86～106%.
结晶硅中杂质元素镍,铜,镁,锰,钛,钡的光谱定量分析
【摘 要】
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本文提出了测定结晶硅中六个杂质元素的光谱定量分析方法,阐述了整个分析方法的详细过程.分析结果的相对误差为±6.7及—13.3%;回收率为86～106%.
【机 构】
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山东省分析测试中心
【出 处】
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山东科学
【发表日期】
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1991年1期
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