【摘 要】
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考察了利用皮秒激光烧蚀切割K9玻璃过程中后表面的烧蚀损伤现象,比较了前、后表面的烧蚀特性,分析了激光能量密度、扫描次数和扫描速度等因素对后表面损伤的影响。根据后表面
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室,中国科学院大学,
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考察了利用皮秒激光烧蚀切割K9玻璃过程中后表面的烧蚀损伤现象,比较了前、后表面的烧蚀特性,分析了激光能量密度、扫描次数和扫描速度等因素对后表面损伤的影响。根据后表面烧蚀形貌和质量,优化了激光单行单次扫描时的激光能量密度和扫描速度等参数。讨论了后表面烧蚀损伤的机理,提出了抑制后表面损伤的方法。实验结果表明,激光聚焦在前表面进行烧蚀切割时,后表面会出现严重的烧蚀损伤,且后表面烧蚀形貌和规律与前表面的显著不同。
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