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本文采用数字图像相关法对微小区域的变形进行测定。通过比较变形前后的图像，获得全场的位移信息，再借助线性最小二乘法原理，对图像中各子区域的位移进行曲面拟合，应变场则由其一阶导数获得。数值模拟结果显示，该方法可以大大提高应变场的连续性。最后，采用自行研制的微型材料测试系统，对带孔的铜质薄膜在拉伸情况下孔边的变形场和不锈钢片的滑移变形场进行了测试。