射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a574150767

【摘要】

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利用磁控溅射方法以CH4和Ar的混合放电气体溅射单晶Ge靶制备碳化锗（Ge1-xCx）薄膜，通过XPS、Raman和Nanoindentation等表征手段系统地研究了射频功率和衬底温度对所获薄膜成分、

【作者】

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王笑夷高劲松陈红王彤彤申振峰郑宣鸣

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室

【出处】

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红外与激光工程

【发表日期】

：

2012年8期

【关键词】

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碳化锗 sp3杂化碳原子射频功率衬底温度

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利用磁控溅射方法以CH4和Ar的混合放电气体溅射单晶Ge靶制备碳化锗（Ge1-xCx）薄膜，通过XPS、Raman和Nanoindentation等表征手段系统地研究了射频功率和衬底温度对所获薄膜成分、键合结构及力学性质的影响。研究发现：射频功率和衬底温度的增加均能提高膜中的Ge含量，这分别归因于Ge溅射产额的增加以及含碳基团在衬底上脱附作用的增强。Ge含量的增加促进了sp2C—C键转变为sp3Ge—C键，进而显著提高了膜中sp3杂化碳原子的相对含量并改善了Ge1-xCx，薄膜的硬度。这些结果表明：提高射

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