Design of a long range nano-scale resolution mechanism

来源 :Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & E | 被引量 : 0次 | 上传用户：bairuyu123

【摘要】

：

This paper presents the development of a coarse-fine dual precision positioning stage to achieve long travel range and high accuracy.The fine stage is arranged

【作者】

：

Shuo Hung CHANG Jen Bon LEE

【机构】

：

DepartmentofMechanicalEngineering

【出处】

：

Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & E

【发表日期】

：

2010年4期

【关键词】

：

coarse tight verified positioning encoder capacitive nanometer compactness trave

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This paper presents the development of a coarse-fine dual precision positioning stage to achieve long travel range and high accuracy.The fine stage is arranged in series with a coarse stage.The key in the fine stage design is the choice of a toggle mechan

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