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<正>为了进行材料实验,研制了1台产生氢氦离子束的注入机。要求能够同时产生200keV的H2+和He+两种离子,离子流强10μA,并且可以方便地调节两者的比例。注入机主要由离子源、透镜、加速管和分析测量系统4部分组成。离子源采用长寿命的潘宁冷阴极源,离子源的进气量通过流量计控制。注入机采用等径三圆筒单透镜,调节中间电极的电位可以在一定范围内调整束斑的尺寸。加速管由一直径为40mm的圆筒和17个均压片组成。分析测量