高空间分辨率的热测试技术——扫描热显微技术

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简述了用扫描热显微技术进行高空间分辨率热测试的技术特点和研究现状,介绍了实际测试的情况,初步分析了扫描热探针和样品表面间的传热机理,提出了进一步研究的方向。 In this paper, the technical characteristics and research status of high-resolution thermal testing using scanning thermal microscopy are briefly introduced. The actual testing conditions are introduced. The heat transfer mechanism between the scanning thermal probe and the sample surface is analyzed preliminarily. The direction of
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