论文部分内容阅读
运用MEMS工艺技术制作的敏感元件和介质隔离特殊封装工艺，研制出压力传感器。在腔体内置填充架、充油位置、波纹膜结构等进行了技术创新，使产品的过滤脉冲压力、抗过载和温度系数具有一定的提高。并就创新点对参数影响等特征进行相关论述。
基于MEMS技术的介质隔离压力传感器工艺研究
【摘 要】
：
运用MEMS工艺技术制作的敏感元件和介质隔离特殊封装工艺，研制出压力传感器。在腔体内置填充架、充油位置、波纹膜结构等进行了技术创新，使产品的过滤脉冲压力、抗过载和温度系
【机 构】
：
天津大学
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
：
2008年11期
其他文献
柴苓汤是小柴胡汤和五苓散的合方,临床广泛用于多种疾病的治疗,包括肾脏疾病,肝硬化腹水,糖尿病性肾病,溃疡性结肠炎.药理作用研究表明:①该方具有类胆固醇样抗炎作用.
现阶段北斗卫星导航系统的IGSO(inclined geosynchronous satellite orbit)卫星以及MEO(medium earth orbit)卫星的多路径误差均存在系统偏差,该多路径系统偏差的存在对精密
目的确定适合医院的疾病诊断相关组合（DRGs）分组方法。方法以某三甲医院慢性缺血性心脏病为研究对象,用非参数检验Kruskal Wallis方法和多因素回归方法分析选取分组的分类节点
本文通过对利用高真空电子束焊机,对压力传感器、振动筒传感器等器件的封袋工艺进行了大量的实验研究表明:真空电子束焊接,加热点小、功率密度高、焊接速度快、便于控制、电
<正>在人权框架背后,隐藏着产生于特定的社会文化结构中的人权话语建构及其权力关系,而普及人权教育,无论是对外传播还是对内传播,其实都是一种跨文化传播。本文试图探讨人权
<正>当前科学传播有三种典型模型,它们依次为:中心广播模型;缺失模型;对话模型(也叫民主模型,与境进路)。三种模型代表了三种不同的立场。因为其立场不同,其目的也是不同的,
目的主要分析在生长发育迟缓的婴幼儿中予以饮食护理的可行性与意义。方法探讨均为因饮食影响而出现生长发育迟缓的婴幼儿,收集的起止时间与终止时间分别为2015年12月-2018年
[概述]紫菀系菊科植物,(Aster tataricus Lf)主产河北省,各地都有栽培。具有润肺、化痰止咳的功效。[生长发育习性]紫菀系多年生草本植物,对气候和土壤的适应性很强,喜温暖,