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针对激光晶体生长过程中晶体重量增长缓慢、现有称重装置精确度不高的问题,设计了一种用于激光晶体生长炉的高精度晶体称重装置。实测结果表明,该称重装置结构简单合理,机械结构的强度和刚度满足要求,与激光晶体生长炉适配性高,稳定性好,大幅提高了晶体称量精度。
激光晶体生长炉高精度晶体称重装置设计
【摘 要】
：
针对激光晶体生长过程中晶体重量增长缓慢、现有称重装置精确度不高的问题,设计了一种用于激光晶体生长炉的高精度晶体称重装置。实测结果表明,该称重装置结构简单合理,机械
【机 构】
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北京石油化工学院自动化系,北京化工大学信息科学与技术学院
【出 处】
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化工机械
【发表日期】
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2019年2期
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