Evaluation of Young's Modulus and Residual Stress of NiFe Film by Microbridge Testing

来源 :材料科学技术学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hc_z
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测试的 Microbridge 被用来测量幼仔的模量和金属性的电影的剩余应力。独立 NiFe 的样品拍摄微桥牌被制作 bymicroelectromechanical 系统。特殊的陶器的柄结构被设计解决得到 NiFe 的负担偏转曲线的问题与正常 Berkovich 探查由 Nanoindenter XP 系统拍摄微桥牌。微桥的负担偏转曲线的理论分析被建议同时评估幼仔的模量和这些电影的剩余应力。当幼仔 Nano 坚硬方法测量的模量是为有硅底层的厚 NiFe 电影的 209.6 +-11.8 GPa 时, T
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